適用于單晶硅、多晶硅加工領域

產品特點：

采用先進的多機并聯同步均流輸出技術，能實現多臺Th電源電流均勻輸出

采用N+X幾余備用系統。所有模塊都參與工作，一旦其中某一個模塊失效，系統自動將故障單元退出，其它模塊共同分擔故障單元電流，使總輸出電壓電流電持不變，待生產完畢可將故障模塊取出維護，大大提高電源的可靠性

増加輔助加熱電源，減少主電源柜的高溫負荷時間， Incre降低事故發生率;

使用底部加熱器，實現晶棒降氧，提高單晶的品質;

化料時間快，對坩堝加熱更均勻，料溫更穩定，減少鍋漏硅的機率

全數字控制高須開關電源，節能、穩定，更抗干擾性

RS485網絡控制系統，控制信號無衰減，保證輸出精度高