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加熱電源
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適用于單晶硅,多晶硅加工領域。 產品特點: 采用先進的多機并聯同步均流輸出技術,能實現多臺電源電流均輸出 采用N+X冗余備用系統。所有模塊都參與工作,一日其中某一個模塊失效,系統自動將故障單元退出,其它模塊共同分 擔故障單元電流,使總輸出電壓電流保持不變,待生產完畢可將故障模塊取出維護,大大提高電源的可靠性; 増加輔助加熱電源,少主電源柜的高溫負荷時間降低事故發生率; 使用底部加熱器,實現晶棒降氧,提高單晶的品質; 化料時間快,對坩堝加熱更均勻,料溫更穩定,減少坩鍋漏硅的機率; 全數控制高頻開關電源,節能、穩定,更抗開擾性 RS485網絡控制系統,控制信號無衰,保證輸出精度高。
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